Установка для нанесения покрытия и ионно-лучевого ориентирования текстурированного оксидного покрытия на металлическую ленту - подложку

1.2 Описание возможностей

Система управления установкой обеспечивает:

• автоматический и ручной режимы работы;
• ручное управление с удаленного пульта, с возможностью управления всеми элементами установки и блоками питания;
• ручное управление с использованием управляющих элементов блоков питания, устройств измерения и управления, находящихся в шкафах управления;
• автоматическое управление всеми операциями технологического процесса по заданной программе;
• отображение текущего состояния систем установки и хода технологического процесса;
• диагностику и протоколирование состояния установки, параметров и хода технологического процесса.

Система управления строится на базе промышленного компьютера и контроллера WAGO. При включении производит тестирование узлов и выдает соответствующие сообщения.

Вся информация об управлении вакуумной установкой выводится на основную мнемосхему, на которой приведена вакуумнаясхема, таблицы технологических процессов и зона управления системой охлаждения.

Все действия оператора и ход выполнения программы записываются в журнал.

1.3 Уровень подготовки пользователя

Пользователь обязан знать принципы работы установки, быть знаком с применяемым оборудованием, ознакомлен с настоящим руководством пользователя, уметь правильно действовать в нештатных и аварийных ситуациях.

1.4 Пульты управления

Система имеет три пульта управления:

• удаленный пульт управления, обеспечивающий работу установки в автоматическом режиме и удаленном ручном режимах; обеспечивает управление системой с помощью мыши и клавиатуры, с визуализацией всех действий и технологических параметров на мониторе. Этот пульт является основным.
• пульт управления около шкафов управления, обеспечивающий работу установки в автоматическом, удаленном ручном и ручном режимах. Интерфейс управления аналогичен интерфейсу на удаленном пульте, но позволяет управление установкой еще в простом, ручном режиме с управлением блоками питания источников, вакуумметров и натекателей, с их собственных блоков управления;
• малый пульт управления (Рис. 1.1) слева от двери камеры, обеспечивающий управление загрузкой камеры - управлением дверью камеры, напуском в камеру, проверкой вращения барабана.

Рис. 1.1 Малый пульт управления

Кнопки на пульте: «напуск», «отжатие двери», «прижатие двери», «открытие двери», «закрытие двери», «вращение барабана». Малый пульт блокируется только после завершения всех действий по загрузке камеры, при срабатывании всех датчиков контроля положения двери и барабана.

Аварийные кнопки - «Стоп» и «Останов» находятся около малого пульта у двери камеры, около шкафов с блоками питания и управления и около удаленного пульта управления.

Кнопка «Останов» прерывает выполнение программы в автоматическом режиме, и в обоих режимах отключает все технологические элементы и блоки установки (за минимальное время). «Останов» возможен и за счет действия программы. Кнопка «Стоп» аварийная и отключает электропитание установки.

2 Подготовка к работе

2.1 Состав SCADAсистемы

Данная SCADA-система является проектом, разработанным в программном комплексе MasterScada3.6. Вызвать запуск проекта в режиме исполнения можно кликом мыши на соответствующей пиктограмме, расположенной на рабочем столе.

2.2 Системные требования

Таблица 2.1 - Системные требования

УСТРОЙСТВО	МИНИМАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ	РЕКОМЕНДУЕМЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Процессор	Современный одноядерный процессор	Современный многоядерный процессор
Оперативная память	1 Гб	2 Гб
Видеокарта		Дискретная видеокарта с 256 Мб и поддержкой DirectX9 и выше
Свободное пространство на диске	500 Mб	1200 Мб
Разрешение монитора	1920x1048
Операционная система	Windows 7

2.3 Порядок запуска системыи проверка работоспособности

Оператор:

• включает силовые автоматы пульта управления и ВМТ, переключатель рода работ находится в положении «Ручной»;
• проверяется состояние всех элементов установки;
• открывает ручные краны подачи охлаждающей жидкости. При наличии потока охлаждающей жидкости поступает сигнал от реле потока.

Оператор может провести процессы включения насосов и откачки камеры в ручном режиме, а может использовать алгоритмы «Подготовка» и «Откачка».

Все линии охлаждения должны быть включены и проверены на предмет протечек.

Оператор может проводить процесс полностью в ручном режиме, нажимая соответствующие значки на мнемосхеме, кнопки включения блоков питания, или может проводить процесс, включая последовательно нужные алгоритмы.

В процессе выполнении алгоритмов, оператор может вносить изменения в параметры. Для внесения изменений в параметры требуется ввод кода в поле «Уровень доступа»

3 Выполнение операций

3.1 Выбор уровня доступа

Существует 3 уровня доступа пользователя установки:

• Уровень I - доступен только аттестованному персоналу наладчиков;
• Уровень II - доступен аттестованному персоналу наладчиков и операторов;
• Уровень III - доступен всем категориям персонала.

Пользователем по умолчанию является пользователь с уровнем доступа III, для его работы не требуется ввод пароля. Пользователь данного уровня доступа может управлять процессом без изменения настроек и управления блокировками.

Пользователь с уровнем доступа II может управлять процессом с изменением настроек и управлением блокировками, все проделанные изменения сохраняются только до выключения системы, завершения запущенного цикла или смены уровня доступа;

Пользователь с уровнем доступа I может управлять процессом с изменением настроек и управлением блокировками, все проделанные изменения сохраняются независимо от выключения системы, завершения запущенного цикла или смены уровня доступа;

После запуска системы откроется основная мнемосхема управления установкой с уровнем доступа III.

Текущий уровень доступа отображается на мнемосхеме в верхнем правом углу (Рис. 3.1):

Рис. 3.1 - Уровень доступа

Чтобы изменить текущий уровень доступа нужно в поле «Код доступа» ввести нужный код, если код правильный то текст в поле «Код доступа» становится синего цвета (Рис. 3.2), иначе остается серым, после ввода правильного пароля в поле «Уровень доступа» отобразится измененный уровень доступа. Ввод пароля автоматически сбрасывает уровень доступа на III-ий уровень до ввода правильного пароля.

Рис. 3.2 - Уровень доступа

Ввод кода доступа необходим также в разделах «Настройки», «Блокировки», «Опоры», «Блокировки алгоритмов», «Останов». Достаточно ввести код доступа в любом разделе, чтобы получить доступ к требуемым функциям, аналогично ввод неправильного пароля в любом разделе снизит уровень до III-го во всех остальных.

3.2 Общая информация о мнемосхеме системы управления

Основная мнемосхемалогически разделена на три части - управление вакуумной установкой, управление технологическим процессом и система охлаждения (Рис.3.3).

Помимо основной мнемосхемы существует также дополнительные окна. Это окна «Параметры», «График», «Журнал». Они рассмотрены в соответствующих разделах руководства.

Рис. 3.3 - Основная мнемосхема

Интерфейс содержит значки обозначающие элементы управления, окна, в которых отображаются те или иные параметры и кнопки управления. В таблице 3.1 приведены все встречающиеся условные обозначения элементов мнемосхем и окон.

Таблица 3.1 - Условные обозначения элементов на мнемосхемах

Ротаметры RT1…RT21
		нет связи
		охлаждение отключено или недостаточно
		охлаждение включено
Затворы VT1…VT4
	нет связи или отсутствие давления в пневмосистеме
	промежуточное состояние
	открыт
	закрыт
Турбомолекулярные насосы NR1…NR4
	нет связи
	выключен
	промежуточное состояние (выход на режим, остановка)
	включен

 

Системы сухой форвакуумной откачки NL1, NL2. Вакуумный насос сухой NL3 NL1 -NL3
	нет связи
	выключено
	промежуточное состояние
	включен
Клапаны VP1…VP6 VE1…VE6 КЭ1…КЭ19
	нет связи или отсутствие давления в пневмосистеме для пневматических клапанов
	закрыт
	промежуточное состояние
	открыт
РРГ VF1…VF6
	нет связи
	нет протока
	есть проток
Концевые выключатели передней, задней двери S1, S2
	нет связи
	закрыт
	открыт
Магнетроны и ионные источники
		нет связи
		работает
		выключено
		промежуточное состояние

Продолжение таблицы 3.1

Значки «Выведено в ремонт», «Заблокировано»
	оборудование выведено в ремонт
	оборудование заблокировано
Заслонки Z1, Z2
	нет связи
	открыта
	закрыта
	промежуточное положение
Пневмоприжим Пр1
	нет связи
	прижат
	отжат
	промежуточное положение
Состояния привода барабана
	нет связи
	вращение
	остановлен
	разгон, торможение
Состояния привода двери
	нет связи
	открыта
	закрыта, прижата
	закрывается, открывается

В случае возникновения неисправности, элемент будет отображаться в мигающей рамке красного цвета.

При нажатии кнопки одного из процессов подается команда на запуск соответствующего процесса. При успешном запуске процесса кнопка приобретет зеленый вид. При возникновении ошибки, у соответствующей кнопки появится красная рамка.

Таблица 3.2 - Условные обозначения кнопок управления запуском процесса

	нет связи, кнопка заблокирована
	процесс не запущен
	процесс запущен
	возникла ошибка в ходе выполнения процесса

3.3 Информационная панель

Информационная панель (Рис. 3.4) содержит поля: «Неисправность»,где высвечивается последняя неисправность;«Процесс»,где отображается выполняемый алгоритм, этап или информация о завершении выполнения алгоритма; «Время процесса»,где отсчитывается время алгоритма; «Время этапа», где отсчитывается время с начала выполнения одного из этапов цикла.

Рис. 3.4 Информационная панель мнемосхемы

3.4 Кнопки информационной панели

Информационная панель содержит кнопки «Параметры», «Графики», «Журнал», «Выход», «Сброс» (Рис. 3.5).

Рис. 3.5 Кнопки информационной панели

Кнопка «Параметры» предназначена для открытия окна, в котором указаны настройки системы, ограничения и блокировки, допускающие отключение или корректировки (см. раздел 3.5).

Кнопка «Графики» предназначена для открытия окна с графиками параметров - давления, напряжение, ток, мощность источников, расходы газов, процента открытия затворов (см. раздел 3.6).

Кнопка «Журнал» служит для открытия журнала сообщений (см. раздел 3.7).

Кнопка «Выход» позволяет выйти из режима исполнения MasterScada и закрыть программу.

Кнопкой «Сброс» осуществляется сброс при возникновении ошибок.Предварительно нужно устранить причину появления ошибок.

3.5 Параметры и блокировки

В окне «Параметры» существуют подразделы:

• «Настройки» - настройки параметров системы;
• «Блокировки», «Опоры», «Останов», «Блокировка алгоритмов» - настройка ограничений и блокировок, допускающих отключение.

Окно «Настройки» приведено на рисунке.

Рис. 3.6 Окно «Настройки»

Параметры разделены по категориям. Существует три вида управления параметрами: 1 - ввод значений в появившееся поле после клика левой кнопкой мыши; 2 - установить галочку в соответствующее поле; 3 - выбрать элемент, нажав его кнопку.

Для изменения текущих параметров нужно иметь уровень доступа I либо II. Все внесенные изменения пользователем уровня II сохраняются до завершения цикла или смены уровня доступа пользователя или выключения установки; внесенные изменения пользователем уровня I сохраняются независимо от текущего цикла, смены уровня доступа или выключения установки.

Выбор типа используемых источников распыления:

Рис. 3.7 Тип источников распыления

Выбор используемых источников:

Рис. 3.8 Используемые источники

Режим работы блоков на этапе «Покрытие»:

Рис. 3.9 Режим работы блоков на этапе «Покрытие»

Контроль давления в камере по датчику:

Рис. 3.10 Контроль давления в камере

Используемые в работе насосы:

Оператор может выбрать насосы, которые будут использованы в работе.В случае не использования какого-либо из насосов, не используются и не контролируются и соответствующие затворы и клапаны.

Рис. 3.11 Используемые в работе насосы

Последовательность работы источников во время нанесения покрытия:

Рис. 3.12 Последовательность работы источников во время нанесения покрытия

Время срабатывания аварий:

Время, по прошествии которого не выполнилась команда, поступившая на клапаны VP9-VP20, заслонки Z1 и Z2 и пневмоприжим Пр1, что приводит к переходу оборудования в состояние «Авария»:

Рис. 3.14 Время срабатывания аварий

Аварийные времена для турбомолекулярных насосов NR1-NR4:

Рис. 3.15 Аварийные времена для турбомолекулярных насосов NR1-NR4

Если насос NRне запустился за время ожидания запуска, не вышел на режим за время выхода на режим, не началось торможение после подачи команды за время ожидания торможения - насос переходит в состояние «Авария»

Параметры ротаметров:

Уставка порога срабатывания, л/мин - уставка, превышение которой переводит ротаметр в состояние «Есть проток», индикатор окрашивается в зеленый;

Уставка порога предупреждения по температуре, °С- уставка, превышение которой приводит к появлению сообщения «Превышение критической температуры» соответствующего ротаметра.

Рис. 3.16 Параметры ротаметров

Параметры ПИД-регуляторовдавления:

Рис. 3.17 Параметры ПИД-регулятора РРГ

Параметры блоков питания магнетронов и ионных источников:

Рис. 3.18 Параметры блоков питания магнетронов и ионных источников

Нельзя вносить изменения в разделах:

• «Выбор типа используемых источников распыления»;
• «Выбор используемых источников»;
• «Режим работы блоков на этапе «Покрытие»;
• «Используемые в работе насосы»;
• «Последовательность работы источников во время нанесения покрытия».

в режиме «Автомат» в момент выполнения алгоритма «Цикл», а в режиме «Ручной» в момент работы источников.

Нельзя вносить изменения в разделе:

• «Используемые в работе насосы».

во время выполнения алгоритмов «Подготовка» и «Откачка».

Соответствующие кнопки в «Параметрах» в этих случаях блокируются.

Блокировки - представляют собой набор "действие - ограничивающее условие". При выполнении условия происходит сработка блокировки и выполняется отмена действия.

В окне раздела «Блокировки» (Рис. 3.19) после ввода кода доступа можно активировать или деактивировать требуемые блокировки. Также имеетсявозможность включить или выключить переход из автоматического режима в ручной режим при сработке блокировки. Для управления работой каждой из блокировок в каждой строке имеются кнопки , кликнув на которые можно активировать или деактивировать блокировку.Для управления работой всех блокировок служат кнопки , нажатие которых приводит к изменениям во всех блокировках. После внесения изменений требуется нажать кнопку «Применить», состояния выбранных блокировок запишутся в контроллер.

Рис. 3.19 Окно «Блокировки»

Раздел «Опоры» (Рис. 3.20).

Опоры - представляют собой набор "действие - условие выполнения".

При выполнении данного условия происходит выполнение действия.

При нарушении данного условия происходит сработка опоры и при необходимости выполняется отмена действия.

Рис. 3.20 Окно «Опоры»

Раздел «Остановы» (Рис. 3.21).

Остановы - условия (нештатные ситуации), при которых выполняется отключение оборудования.

При выполнении условия просиходит сработка останова и выполняется отключение необходимого оборудования в штатном режиме.

Рис. 3.21 Окно «Останов»

Раздел «Блокировка алгоритмов» (Рис. 3.22).

Блокировки алгоритмов - условия, ограничивающие запуск алгоритма.

Проверяются при запуске алгоритма, при выполнении условия происходит сработка блокировки и выполняется отмена запуска алгоритма.

Рис. 3.22 Окно «Блокировки алгоритмов»

При срабатывании любой блокировки подается звуковой сигнал, выводится надпись в поле «Неисправность» с текстом блокировки,выдается сообщение, действия оператора блокируются, делается запись в журнал. В окне с блокировками кнопка раздела со сработавшей блокировкой и строка с блокировкой подсвечиваются красным цветом (Рис 3.23).

Кнопка «Сброс» снимает статусы всех сработавших блокировок.

Рис. 3.23 Окно «Сообщения»

Оператор устраняет причину аварийной ситуации и нажимает кнопку «Сброс», удаляя ограничение.

Перечень заданных блокировок приведен в таблицах в Приложении.

3.6 Графики

В окне «График» (Рис. 3.24) можно выбирать отображаемые параметры, производить масштабирование и перемотку графиков, сохранять и выводить на печать выбранные графики.

Окно графиков позволяет настроить выбор перьев для отображения, шкалы, параметры в режиме исполнения.

Рис. 3.24 Окно «График»

3.7 Аварийные сообщения, журнал, окно Неисправность

В случае сбоя, сработки блокировки или аварии на экране появляются сообщения с поясняющим текстом. Также могут появиться сразу несколько сообщений, которые можно перелистывать в окне «Сообщения» (Рис. 3.25).

Рис. 3.25 - Окно «Сообщения»

Все сообщения заносятся в журнал (Рис. 3.26). Помимо сообщений о сбоях, авариях, сработавших блокировках, в журнал без вывода сообщений пишутся действия оператора, смена состояний оборудования, статусы выполнения алгоритмов.

Рис. 3.26 Журнал

При сбоях в работе, возникает надпись в поле «Неисправность» обозначающая ее тип - «Останов», «Блокировка» и т.д. и текст сообщения. Для выяснения конкретной причины нужно нажать на поле «Неисправность», что приведет к открытию окна (Рис. 3.27).

Рис. 3.27 Окно «Неисправность»

В этом окне присутствуют кнопки, соответствующие причинам сбоев в работе.

При наличии неисправности, кнопки, соответствующие причине сбоя в работе, красного цвета.

Нажатие на одну из кнопок приведет к открытию окна с таблицей данного типа неисправностей (подробнее о таблицах в разделе «Аварийные ситуации»).

Если сбой связан с неисправностями «Блокировки», «Блокировки алгоритмов», «Останов» или «Опоры», то оператор с уровнем доступа II, набрав код доступа, может отменить блокирование работы установки. Данная отмена будет действовать до конца цикла.В случае если изменения произвел оператор с уровнем доступа Iизменения сохраняться и после завершения цикла.

Для изменения значений в таблице «Опоры» нужно открыть таблицу в разделе «Параметры».

3.8 Зона управления вакуумной системой

Зона управления вакуумной системой (Рис. 3.28) состоит из мнемосхемы, на которой отображается состояние вакуумной системы, таблицы с текущими показаниями напряжений, токов, мощностей блоков питания магнетронов и ионных источников и кнопок управления процессом.

Рис. 3.28 Вакуумная система

Элементы вакуумной системы - насосы, клапаны и т.д. в выключенном (закрытом) состоянии изображаются красным цветом, а в рабочем (открытом)состоянии зеленым. Насосы NR1-NR4 в состоянии выхода на режим изображается желтым цветом. Желтым цветом изображаются также элементы в случае их «зависания», т.е. например, если нет сигнала от датчиков клапана о его закрытии или открытии через заданное время.

Кнопки управления, расположенные в правой стороне зоны управления вакуумной системой, предназначены для запуска отдельных алгоритмов.

Кнопки «Подготовка», «Откачка», «Выключение» предназначены для запуска соответствующих алгоритмов.

Алгоритмы «Подготовка», «Откачка» и «Выключение» могут выполняться, как в режиме «Ручной», так и в режиме «Автомат».

Алгоритм «Подготовка» обеспечивает выход насосовNR1-NR4 на рабочий режим в автоматическом режиме.

Алгоритм «Откачка» обеспечивает проведение процесса откачки камеры в автоматическом режиме при включенных и вышедших на режим насосах.

Алгоритм «Выключение» обеспечивает останов насосовNR1-NR4 в штатном режиме, откачку камеры и выключение всех элементов вакуумной системы в штатном режиме.

Кнопка «Цикл» предназначена для запуска процесса в автоматическом режиме после загрузки всех параметров с таблиц в контроллер.

Нажатие кнопки «Выход» приводит к выключению всех источников и прерыванию выполнения запущенного алгоритма.

До включения какого-либо алгоритма или по завершении действия алгоритма оператор может проводить процесс в ручном режиме, нажимая соответствующие символы элементов - насосов, клапанов на вакуумной схеме и кнопки в таблицах.

3.9 Зона управления системой охлаждения

Управление клапанами в системе охлаждения производится нажатием кнопок с соответствующей подписью (Рис.3.29). Например, нажатие кнопки «NL1»приведет к открытию клапана, отвечающего за поступление охлаждающей жидкости к насосу NL1, наличие протока отобразится на индикаторе RT5 (см. Таблица 3.1), температура жидкости отобразится в поле «Температура» для RT5. У источников имеющих по два ротаметра, например, у источникаI1, индикация производится по двум ротаметрам -RT13 и RT14. Гидравлическая схема представлена на рисунке 3.30.

Рис. 3.29 Зона управления системой охлаждения

Рис. 3.30 Гидравлическая схема

3.10 Зона управления технологическим процессом

Зона управления технологическим процессом разделена на две зоны управления: «Настройка ручного режима» (Рис. 3.31) и «Настройка автоматического режима» (Рис. 3.32). Для переключения настроек данных режимов служат кнопки «Ручной» и «Автомат».Текущий режим в системе отображается в поле «Режим». Данные кнопки переключают только отображения зон для настройки ручного и автоматического режимов и никак не влияют на текущий режим работы системы.

При включении установки всегда режим «Ручной», надпись в поле режим - «Ручной».

В поле «Уровень доступа» отображается текущий уровень доступа пользователя системы.

Рис. 3.31 Настройка ручного режима управления

В окне параметров в этом случае присутствую таблицы, как показано выше. С помощью этих таблиц и присутствующих кнопок можно управлять процессом в ручном режиме с удаленного и местного пультов управления. Для этого в соответствующие графы записывается нужное значение и, кликом мыши, нажимается соответствующая кнопка. У элементов вакуумной схемы, управление которыми производится нажатием кнопок в таблицах (VT1-VT4, VF1-VF8, I1-I4, Mg1, Mg2, Барабан) нажатие на изображение данных элементов на мнемосхеме не обрабатывается, т.е. управление происходит только нажатием на кнопки в таблицах.При отсутствии связи со шкафом автоматики кнопки блокируются, их названия становятся серыми, вместо значений отображается «---».

При нажатии на кнопку «Автомат» отобразятся настройки автоматического режима управления, интерфейс выглядит, как показано на следующем рисунке.

Рис. 3.32 Настройка автоматического режима управления

При выборе в разделе «Последовательность работы источников во время нанесения покрытия» в окне «Параметры» процесса нанесения покрытия поочередно (нажатии кнопки «Поочередно») появляется еще одна таблица, в которой указывается длительность шагов нанесения и ориентирования (Рис. 3.33).

Рис. 3.33 Процесс нанесения покрытия

Первоначально таблицы пустые и не активны для заполнения.

Оператор может выбрать процесс из архива, может выбрать последний из проведённых процессов, может записать новый процесс.

Для выбора процесса или создания нового нужно нажать кнопку «Архив», после чего откроется окно с перечнем процессов, записанных в архиве (Рис. 3.34).

Рис. 3.34 Окно «Архив»

Чтобы загрузить набор параметров оператор выбирает нужный процесс и нажимает на него в списке процессов. Соответствующая строка в списке процессов становится выделенной. Затем нужно нажать кнопку «Прочитать», при этом в таблицах настройки автоматического режима появятся параметры соответствующие выбранному процессу. В поле «Выбранный процесс» отобразится название выбранного процесса. Название процессов формируются из даты и времени создания процесса при нажатии кнопки «Новый».

Если оператор нажимает «Последний», то выделенной в списке становится строка с последним проведенным процессом. Нужно нажать кнопку «Прочитать» чтобы параметры появились в таблицах. Если на момент нажатия кнопки «Последний» нужный процесс был удален, выделение строки не произойдет.

Если оператор выбирает «Новый», то создается еще одна строка в списке, которую нужно выбрать и нажать кнопку «Прочитать», после чего таблицы пустые. Оператор заполняет все нужные графы.

Чтобы удалить выбранную строку с настройками нужно нажать кнопку «Удалить».

Возможности создать новый процесс и удалить существующий, доступнытолько для оператора с уровнем доступа I.

После того, как нужные параметры отобразились в таблицах, дальнейшее управление производится в панели кнопок, расположенной в нижней части схемы управления технологическим процессом (Рис. 3.35).

Чтобы сделать изменения в таблицах нужно ввести код доступа и нажать кнопку «Изменить». Поля ввода значений в таблицах в этом случае отобразятся с синей рамкой (Рис.3.36), отображающей доступность для редактирования значения.

Для редактирования значения нужно кликнуть на значении, появится окно «Ввод значения», в котором можно ввести значение, или изменить текущее с заданным шагом, нажав кнопки «+» или «-». Затем нажать «Да» в окне «Ввод значения», либо «Enter» на клавиатуре. При попытке ввода значения, не входящего в установленные пределы, появляется окно с сообщением, где указаны нижний и верхний пределы (Рис. 3.36), после нажатия кнопки «OK»нужно повторить ввод корректного значения.

Рис. 3.36 Некорректный ввод значения

После изменения значения в таблице, кнопки «Сохранить» и «Загрузить» окрасятся в красный цвет (Рис. 3.37). Окрашивание в красный цвет кнопки «Сохранить» показывает различия значений между редактируемым файлом в архиве процессов и введенными значениями в таблицах. Окрашивание в красный цвет кнопки «Загрузить» показывает различия значений между загруженными в контроллер и введенными значениями в таблицах.

Рис. 3.37 Индикация различия введенных значений в таблицах и значений в архиве и в контроллере

Чтобы внесенные изменения в таблицах сохранились в архив, нужно нажать кнопку «Сохранить». Кнопка «Сохранить» окрасится в серый цвет, т.к. данные в файле и в таблицах совпадают.

После сохранения параметров из таблиц, для их отправки в контроллер нужно нажать кнопку «Загрузить».Кнопка «Загрузить» окрасится в серый цвет, т.к. данные в контроллере и в таблицах совпадают.

Если нужно изменить значения параметров во время выполнения процесса, т.е. после нажатия кнопки «Цикл», то оператор набирает код доступа, нажимает «Изменить», проводит изменения,затем нажимает кнопку «Загрузить». При этом изменения происходят без прерывания процесса. Проделанные изменения сохраняться в настройках процесса, если до нажатия кнопки «Загрузить» нажали кнопку «Сохранить».

Выполнение установленных параметров происходит только в режиме «Автомат», при нажатии кнопки «Загрузить» и затем кнопки «Цикл».

4 Режимы работы

4.1 «Ручной»

В режиме работы «Ручной» оператор проверяет работоспособность всех элементов установки, может провести технологический процесс, используя два варианта управления.

В первом управление производится только с помощью монитора, мыши и клавиатуры, при этом управление блоками питания источников и системой напуска газов осуществляется в удаленном режиме.

Во втором используя пульты управления блоков питания, РРГ и монитор компьютера. Второй вариант возможен только при использовании вынесенного пульта управления, около шкафов с блоками питания и управления.

При работе в ручном удаленном режиме, оператор вводит нужное значение в таблице и нажимает, соответствующую кнопку. В этом случае значение передается блоку питания. При необходимости плавного изменения значения - нажимается поле со значением соответствующего блока, затем в появившемся окне нажимаются кнопки «+» и «-». При каждом нажатии «+» или «-» происходит изменение задания с определенным шагом.

В режиме работы «Ручной» блокировки работают.

4.2 «Автомат»

В режиме работы «Автомат» производится выполнение алгоритмов «Подготовка», «Откачка», «Выключение» после нажатия соответствующих кнопок, и выполнение программы после нажатия кнопки «Цикл», в соответствие с записанными параметрами технологического процесса.

5 Перезагрузка камеры

Действия производятся на малом пульте управления.

На малом пульте расположены шесть кнопок с индикацией и лампа индикации «Загрузка камеры».

Индикация кнопок показывает, какие из них активны в данный момент, остальные кнопки заблокированы. Индикация загрузки камеры загорается, когда давление в камере равно атмосферному, соответствует давлению завершения напуска, заданному в настройках.

5.1 Открытие камеры

Управление передано на малый пульт.

Кнопка «Напуск» на малом пульте активна.

Для открытия камеры оператор нажимает кнопку «Напуск» на малом пульте управления:

• открывается VP18;
• в поле «Процесс» надпись «Напуск»;
• при давлении по РТ1 - опора 1, но не ранее чем через 30 с после открытия VP18, в поле «Процесс» надпись «Загрузка камеры»,индикация «Загрузка камеры» на малом пульте;
• снимается блокировка с кнопки «Отжать дверь»;
• оператор нажимает кнопку «Отжать дверь» - срабатывает пневмо-прижим Пр1 на отжатие двери;
• после срабатывания Пр1 - «отжато», срабатывает SQ1 - «открыто»;
• после срабатывания SQ1 - «открыто», через 5с закрывается VP18, снимается блокировка с кнопки «открыть дверь»;
• оператор нажимает кнопку «открыть дверь» - включается привод перемещения двери М2;
• при срабатывании SQ3 - «открыто» выключается М2;
• кнопки малого пульта блокируются, сигнал на малом пульте, звуковой сигнал, визуализация открытия двери на интерфейсе монитора.

5.2 Перезагрузка камеры

Барабан отсоединяется от подводящих элементов на задней крышке камеры.

Устанавливаются направляющие для выкатывания тележки с камерой. Срабатывает S2, блокирующий включение привода перемещения двери камеры М2.

При выкатывании тележки с барабаном срабатывает S1- «нет барабана».

При закатывании новой тележки с барабаном срабатывает S1- «барабан в камере».

Присоединяются подводящие элементы к барабану на задней крышке камеры.

После срабатывания S1- «барабан в камере» и присоединении подводящих элементов, разблокируется кнопка на малом пульте - «Вращение барабана».

Нажав эту кнопку, оператор может проверить надежность вращения и крепления барабана.

Барабан вращается только при нажатой кнопке «Вращение барабана». При ее отпускании вращение прекращается.

5.3 Закрытие камеры

Удаляются направляющие для выкатывания тележки с камерой. Срабатывает S2 - «нет помех», снимается блокировка привода М2.

• оператор нажимает кнопку «закрыть дверь» - включается привод перемещения двери М2;
• при срабатывании SQ2, привод М2 отключается;
• отключается блокировка кнопки «Прижатие двери»;
• оператор нажимает кнопку «Прижатие двери», срабатывает пневмоприжим Пр1;
• при закрытом прижиме и срабатывании SQ1 - «прижат», подается сигнал и управление может быть переключено на основной или вспомогательный пульты управления.

6 Алгоритм «Подготовка»

Условия выполнения - «Блокировки алгоритмов» - 1.

в поле «Процесс» надпись «Подготовка»;

• открываются КЭ1 и КЭ2;
• при наличии сигналов от RT5 и RT6 - «есть поток», включаются NL1 и NL2 (или один из них, согласно заложенному в настройках);
• контролируется давление по датчикам РТ2 и РТ4;
• при достижении давления по датчикам РТ2 - опора 2 и РТ4 - опора 6,но не ранее чем через 3 мин с момента включения насосов NL1 и NL2, открываются VP11 и VP17;
• через 1 мин после открытия VP11 и VP17, и при давлении по РТ3 - опора 4, открываются VP13-VP16;
• при достижении давления по датчикуРТ3 - опора 5 и при наличии сигналов от RT1- RT4 - есть поток, включаются насосы NR1-NR4 (или меньшее число, согласно заложенному в настройках);
• при выходе NR1-NR4 на режим, звуковой сигнал ив поле«Процесс» надпись «Подготовка завершена».

В процессе выполнении алгоритма «Подготовка», при разблокировании малого пульта, оператор может напустить воздух в камеру, провести перезагрузку камеры, проверить вращение изделия в камере, нажимая соответствующие кнопки.

8 Алгоритм «Цикл»

При выполнении условий - «Блокировки алгоритмов» - 3:

Этапы выполняются последовательно - «очистка» (ионная и мишеней), а затем «покрытие», в соответствие с таблицами параметров и настроек.

• открывается VP10 (при выборе PD1 для работы);
• закрывается VP9;
• затворы VT1-VT4 переходят в состояние открытия в соответствие с заданием;
• включается вращение барабана, скорость плавно увеличивается до достижения заданной;
• открываются КЭ11 и КЭ12;
• выдержка 5 мин;
• при наличии сигнала от RТ21- есть поток, открываются КЭ7-КЭ10;
• при наличии сигналов от RТ13 - RТ20, открываются VP3 -VP8;
• в поле «Процесс» надпись «Ионная очистка».

7 Алгоритм «Откачка»

Условия выполнения - «Блокировки алгоритмов» - 2.

• в поле «Процесс» надпись «Откачка»;
• включается NL3;
• при достижении давления по РТ5 - опора 6, открывается VP19;
• при давлении по РТ5 - опора 7,закрываются VP13-VP16;
• после закрытия VP13-VP16, открываетсяVP12;
• при достижении давления по PT1 - опора 8, но не ранее чем через 15 мин после открытия, VP12 закрывается;
• через 1 мин после закрытия VP12, открываются VP13-VP16;
• через 1 мин после открытия VP13-VP16, открываются VT1-VT4;
• после достижения давления по PM1 - опора 9, но не ранее чем через 20 мин после открытия затворов, алгоритм «Откачка» завершен;
• звуковой сигнал и в поле «Процесс» надпись «Откачка завершена».

Возможны два варианта:

А) кнопка у таблицы расходов не нажата

• через 5с плавно и одинаково открываются VF3-VF8, до достижения указанного давления поPD1;

Б) кнопка у таблицы расходов нажата

• через 5с плавно открываются VF3-VF8, до достижения значений указанных в таблице «Расходы»; при достижении заданного давления, далее оно поддерживается изменением открытия затворов;

Далее одинаково:

• при достижении указанного давления включаются питание ионных источников I1-I4 (в режиме по напряжению);
• происходит плавное повышение напряженияпитания ионных источников - подаем начальную «уставку» ~30% от заданной величины, но не менее 7% от максимального тока блока;
• поднимаем «уставку» с шагом 5-10% от требуемого значения.При стабилизации тока делаем следующий шаг.
• вновь поднимаем «уставку»;
• при приближении к заданной величине напряжения шаги подъема уменьшаются с целью получения точного значения заданной величины;
• после достижения и стабилизации тока при заданной величине напряжения, у всех ионных источников, анализируется ток источников;
• максимальный ток из четырех источников берется за основу, и увеличивается расход газа через остальные источники до достижения тока такого же, как у первого;
• поддержание давление ведется с помощью открытия-закрытия затворов;
• при достижении одинакового напряжения и тока у всех I1-I4, начинают плавно и одинаково увеличиваться расходы у VF3-VF8, до достижения заданной величины тока у всех источников;
• после достижениятока, заданного в таблице, происходит процесс очистки в течение заданного времени;
• по истечении заданного времени ионной очистки, происходит выключение питания ионных источников I1-I4;
• равномерно и плавно открываются VF3-VF8, до достижения в камере давления указанного в таблице «Очистка мишеней»;
• в поле «Процесс» надпись «Очистка мишеней»;
• открываются КЭ5 и КЭ6;
• при наличии сигналов от RТ9 и RТ11 - есть поток (при использовании ионных источников распыления RТ9-RТ12) открываются КЭ3 и КЭ4(при использовании ионных источников распыления - не включаются);
• при стабилизации заданного давления и при наличии сигналов от RТ7 и RТ8 - «есть поток», происходит включение питания магнетронов Mg1 иMg2;
• происходит плавное повышение напряжения питания, аналогично ионным источникам (в режиме стабилизации по току);
• давление в камере поддерживается с помощью затворов;
• при достижении заданного тока у обоих магнетронов, происходит сопоставление напряжений у них;
• при не совпадении напряжений, производится попытка сравнять их, путем изменения расхода через VF3 и VF4:
• сначала плавно уменьшаем расход через VF у магнетрона с большим током, вплоть до его полного закрытия;
• при этом поддерживается давление в камере с помощью затворов;
• если таким путем сравнять напряжения не удается, то начинаем увеличивать расход через VF у другого магнетрона;
• при получении одинаковых параметров у обоих магнетронов, производим очистку мишеней заданное время;
• по истечении заданного времени выключается питание магнетронов;
• закрываются КЭ3 и КЭ4;
• переход к этапу «Покрытие»;
• в поле «Процесс» надпись «Покрытие»;
• происходит переключение режима работы источников,если требуется;

А) кнопка у таблицырасходов не нажата:

•  расходы у VF3-VF8 плавно и пропорционально изменяются до достижения указанного давления;

Б) кнопка у таблицырасходов нажата:

• расходы у VF3-VF8 плавноизменяются до достижения указанных значений; при достижении заданного давления, далее оно поддерживается изменением открытия затворов;

Далее одинаково:

• при достижении указанного давления включаются I1-I4;
• напряжение питания I1-I4 плавно изменяется до достижения и стабилизации заданного параметра «Нач. ИИ»;
• выравнивание параметров у источников I1-I4 производится следующим образом: при получении нужного параметра у одного из источников он выбирается за основной, у остальных, поочереди изменяется сначала напряжение до значения основного, а затем с помощью изменения расхода через соответствующий VF достигается нужный ток (увеличение расхода увеличивает ток); при этом давление поддерживается с помощью затворов;
• через 5 с после выравнивания параметров у I1-I4, открываются КЭ3 и КЭ4;
• при наличии сигнала отRТ7 и RТ8 - «есть поток», включается питание у Mg1 иMg2;
• напряжение питания плавно поднимается до достижения требуемого значения параметра;

выравнивание параметров у Mg1 иMg2 производится следующим образом: при получении нужного параметра у одного из источников он выбирается за основной, у второго изменяется сначала напряжение до значения основного, а затем с помощью изменения расхода через соответствующий VF достигается нужный ток (увеличение расхода увеличивает ток); при этом давление поддерживается с помощью затворов;

• через 5с после достижения заданных значений параметров открываются VP1 и VP2;
• через 5с после открытия VP1 и VP2, плавно открываются VF1 и VF2, до достижения указанного соотношения «Расход О₂/ток»;
• выдержка 10 с;
• происходит выравнивание заданных параметров у источников, поочередно, также как указано выше (напряжение источником, а ток соответствующим VF);
• после стабилизации параметров в зависимости от варианта работы;

Вариант работы «Совместно»:

• открываются заслонки Z1 и Z2;
• после открытия заслонок происходит нанесение покрытия в течение заданного времени;
• после открытия заслонок Z1 и Z2, параметры I1-I4 плавно изменяется до значения «Раб. ИИ» за указанное время;
• по истечении заданного времени нанесения покрытия, закрываются заслонкиZ1 и Z2, выключается питание Mg1 иMg2, закрываются VF1 и VF2;
• закрываются VP1 и VP2;
• закрываются КЭ3 и КЭ4;

Вариант работы «Поочередно»:

• открываются заслонки Z1 и Z2;
• через указанное время для нанесения закрываются заслонки;
• параметры I1-I4изменяется до значения «Раб. ИИ»;
• через указанное время для ориентирования, параметры I1-I4изменяется до значения «Нач. ИИ»;
• открываются заслонки Z1 и Z2;
• и т.д. до истечения указанного времени нанесения;
• по истечении заданного временинанесения покрытия, но обязательно после шага «Ориентирование», закрываются заслонкиZ1 и Z2, выключается питание Mg1 иMg2, закрываются VF1 и VF2;
• закрываются VP1 и VP2;
• закрываются КЭ3 и КЭ4;

Далее одинаково:

• выключается питание I1-I4;
• прекращается поддержание давления;
• закрываются VF1-VF8;
• через 3с закрываются VP1-VP8;
• закрываются КЭ5-КЭ10;
• производится выдержка в течение указанного времени;
• закрывается VP10;
• открывается VP9;
• по истечении указанного времени выдержки, закрываются КЭ11 и КЭ12;
• при наличии сигнала от RТ21 - «Закрыто», надпись в поле «Процесс» - «Цикл завершен», звуковой сигнал.

Дальнейшие действия выбирает оператор. Он может, произвести перезагрузку установки или, не выгружая изделия, произвести выключение установки.

Для перезагрузки нужно переключить управление на малый пульт управления.

Выключение установки можно провести в ручном режиме или нажать кнопку «Выключение» для выполнения алгоритма.

9 Алгоритм «Выключение»

Оператор нажимает кнопку «Выключение».

При выполнении условий - «Блокировки алгоритмов» - 2:

• в процесс «Процесс» надпись «Выключение». выключаются насосыNR1-NR4;

9.1 Если камера закрыта -SQ1 в состоянии закрыто, тодва варианта в зависимости от давления в камере:

а) давление по РТ1≥5х10^-2 мм рт.ст.

• VP13-VP16 закрываются,
• через 10 секунд
• VP12 открывается;
• при достижении давления по PT1 - опора 8, но не ранее чем через 5 мин после открытия, VP12 закрывается;
• через 1 мин после закрытия VP12, открываются VP13-VP16;
• ждем сигнала о остановке насосов NR1-NR4;
• закрываются клапана VP13-VP16;
• закрываются клапана VP11, VP17
• выключаются насосы NL1, NL2;
• закрывается клапан VP19, выключается насосNL3;
• закрываются клапана КЭ1, КЭ2.

В поле «Процесс» надпись «Выключение завершено».

б)давление по РТ1≤5х10^-2 мм рт. ст.

• ждем сигнала о остановке насосов NR1-NR4;
• закрываются клапана VP13-VP16;
• закрываются клапана VP11, VP17
• выключаются насосы NL1, NL2;
• закрывается клапан VP19, выключается насосNL3;
• закрываются клапана КЭ1, КЭ2.

В поле «Процесс» надпись «Выключение завершено».

9.2 Если камера открыта -SQ1 в состоянии открыто, то:

• ожидание в течение 20 минут от нажатия «выключение» закрытия камеры - сигнала от SQ1 закрыто;

при появлении сигнала закрыто от SQ1, идем

Если в течение 20 минут от нажатия «Выключение» не поступило сигнала от SQ1 «закрыто», то

• ждем сигнала об остановке насосов NR1-NR4;
• закрываются клапана VP13-VP16;
• закрываются клапана VP11, VP17
• выключаются насосы NL1, NL2;
• закрывается клапан VP19, выключается насосNL3;
• закрываются клапана КЭ1, КЭ2.

В поле «Процесс» надпись «Выключение завершено»

Далее оператор выключает компьютер, закрывает подачу охлаждения, выключает чилеры, закрывает баллоны с газами и выключает электропитание установки.

10 Аварийные ситуации и блокировки

10.1 Экстренное отключение

• нажатие кнопки «STOP»;
• при нарушении электропитания установки более 5 сек (отсутствие фазы питания, недопустимый перекос фаз, недопустимое напряжение питания);

Действия, одновременно:

• отключается электропитание всей установки, кроме компрессора (должен иметь отдельное питание);

При этом:

• включается звуковой сигнал, в поле «Неисправность» надпись «Авария»;
• производится штатное отключение контроллера и компьютера.

10.2 Переход в состояние «Останов»

Прерывается выполнение любого алгоритма.

Установка переходит в режим «Ручной».

Включается звуковой сигнал.

В поле «Неисправность» надпись «Останов».

 10.2.1. Нажатие кнопки «Останов». При невыполнении действия более 10 сек во время этапов (кроме давления).

При выполнении алгоритмов «Подготовка», «Откачка», «Выключение»

• закрываются VT1-VT4, VP10-VP17;VP19
• выключается NR1-NR4;
• через 3 с, выключаются NL1-NL3;

При выполнении алгоритма «Цикл».

• отключается питание магнетронов, ионных источников;
• закрываются VF1-VF8;
• закрываются КЭ3-КЭ12;
• закрываются VР1-VР8;
• через 2с отключается вращение барабана М1.

10.2.2.Нарушение электропитания насосов NL1- NL3 на время более 3с.

Неисправность NR1- NR4.

Снижение давления в пневмосистеме ниже допустимого более 5с.

Нарушение в линии электропитания системы управления на время более 5с.

• отключается питание всех источников;
• закрываются VF1- VF8;
• закрываются КЭ3-КЭ12;
• закрываются VР1-VР8;
• через 2с отключается вращение барабана М1;
• закрываются VT1-VT4, VP10-VP17, VP19;
• выключаются NR1-NR4;
• через 2 с, выключаются NL1-NL3;

10.2.3Нарушение электропитания привода вращения барабана М1.

Нарушение в электропитании или неисправность блоков питания источников.

• отключается питание всех источников;
• закрываются VF1- VF8;
• закрываются КЭ3-КЭ12;
• закрываются VР1-VР8;
• через 2с отключается вращение барабана М1.

10.2.4Срабатывание SQ1 - открыто, при открытом затворе VT1-VT4. Превышение давления в технологической камере выше 10^-1 мм рт.ст. при открытых затворахVT1-VT4.

• закрываются VT1-VT4;
• отключается питание всех источников;
• закрываются VF1- VF8;
• закрываются КЭ3-КЭ12;
• закрываются VР1-VР8;

10.2.5 Оператор нажимает «Настройки».

Нажимает «Останов» - открывается окно «Останов (Рис. 3.21).

Оператор устраняет причину аварийной ситуации и нажимает кнопку «Сброс», удаляя ограничение, закрывает окно.

Приложение

Блокировки

1	Открытие VP12	открыт VT1-VT4
2	Открытие VP12	открыт VP13- VP16
3	Открытие VP12	выключен NL1, NL2
4	Открытие VP12	открыт VP18
5	Открытие VP12	SQ1- открыто
6	Открытие VT1 - VT4	открыт VР12
7	Открытие VT1 - VT4	открыт VР18
8	Открытие VT1 - VT4	выключен NL1, NL2
9	Открытие VT1 - VT4	SQ1- открыто
10	Открытие VT1	закрыт VP13
11	Открытие VT1	не вышел на режим NR1
12	Открытие VT2	закрыт VP14
13	Открытие VT2	не вышел на режим NR2
14	Открытие VT3	закрыт VP15
15	Открытие VT3	не вышел на режим NR3
16	Открытие VT4	закрыт VP16
17	Открытие VT4	не вышел на режим NR4
18	Открытие VP11	выключен NL1
19	Открытие VP17	выключен NL2
20	Работа NR1	Нет сигнала от RT1
21	Работа NR1	выключен NL1, NL2
22	Работа NR2	нет сигнала от RT2
23	Работа NR2	выключен NL1, NL2
24	Работа NR3	нет сигнала от RT3
25	Работа NR3	выключен NL1, NL2
26	Работа NR4	нет сигнала от RT4
27	Работа NR4	выключен NL1, NL2
28	Открытие VP13 - VP16	открыт VP12
29	Открытие VP13 - VP16	выключен NL1, NL2
30	Открытие VF1	закрыт VP1
31	Открытие VF2	закрыт VP2
32	Открытие VF3	закрыт VP3
33	Открытие VF4	закрыт VP4
34	Открытие VF5	закрыт VP5
35	Открытие VF6	закрыт VP6
36	Открытие VF7	закрыт VP7
37	Открытие VF8	закрыт VP8
38	Открытие VP1 - VP8	давление в камере >= 50 Па
39	Открытие VP1 - VP8	открыт VP18
40	Открытие VP1 - VP8	SQ1 - открыто
41	Включение NL3	S1 - нет барабана
42	Открытие VP19	открыт клапан VP20
43	Открытие VP19	выключен NL3
44	Открытие VP20	открыт клапан VP19
45	Открытие VP18	открыт затвор VT1-VT4
46	Открытие VP18	открыт клапан VP12
47	Открытие VP18	RT7-RT21 - наличие потока
48	Открытие VP18	открыт КЭ3 - КЭ12
49	Открытие VP18	закрыт VP9
50	Открытие VP18	M1 - включено вращение
51	Открытие VP10	открыт VР18
52	Открытие VP10	SQ1- открыто
53	Подача питания на ионные источники I1 - I4	SQ1- открыто
54	Подача питания на ионные источники I1 - I4	открыт VP18
55	Подача питания на ионные источники I1 - I4	RT21 - нет потока
56	Подача питания на ионный источник I1	нет сигнала от RT13-RT14
57	Подача питания на ионный источник I1	сигнал неисправности от блока питания I1
58	Подача питания на ионный источник I2	нет сигнала от RT15-RT16
59	Подача питания на ионный источник I2	сигнал неисправности от блока питания I2
60	Подача питания на ионный источник I3	нет сигнала от RT17-RT18
61	Подача питания на ионный источник I3	сигнал неисправности от блока питания I3
62	Подача питания на ионный источник I4	нет сигнала от RT19-RT20
63	Подача питания на ионный источник I4	сигнал неисправности от блока питания I4
64	Подача питания на магнетроны Mg1, Mg2	один из используемых затворов VT1-VT4 не открыт
65	Подача питания на магнетроны Mg1, Mg2	SQ1- открыто
66	Подача питания на магнетроны Mg1	нет сигнала от RT7, RT9
67	Подача питания на магнетроны Mg1	сигнал неисправности от блоков питания Mg1
68	Подача питания на магнетроны Mg2	нет сигнала от RT8, RT11
69	Подача питания на магнетроны Mg2	сигнал неисправности от блоков питания Mg2
70	Работа NL1	RT5 - нет потока
71	Работа NL2	RT6 - нет потока
72	Включение привода двери М2 на открытие	SQ1- закрыто
73	Включение привода двери М2 на закрытие	S2 -есть объект
74	Прижатие двери прижимом Пр1	SQ2 не сработал
75	Отжатие двери прижимом Пр1	давление по PT1 - опора 1

Останов

1	Нажатие кнопки «Останов»
2	Аварии клапанов и затворов (автоматический режим)
3	Нарушение в линии электропитания насосов NL1, NL2, NL3
4	Неисправность NR1-NR4
5	Нарушение электропитания привода вращения барабана
6	Снижение давления в пневмосистеме ниже допустимого более 5 сек
7	Нарушение в линии электропитания системы управления на время более 5 сек
8	Неисправность блоков питания магнетронов
9	Неисправность блоков питания ионных источников
10	Срабатывание SQ1-открыто при открытом VT1-VT4
11	Превышение давления в камере при открытом VT1-VT4

Опоры

1	Давление завершение напуска	Давление по РТ1, мм рт. ст. =>
2	Открытие VP11	Давление по РТ2, мм рт. ст. <=
3	Открытие VP17	Давление по РТ4, мм рт. ст. <=
4	Открытие VР13-VP16	Давление по РТ3, мм рт. ст.<=
5	Включение NR1-NR4	Давление по РТ3, мм рт. ст.<=
6	Открытие VP19	Давление по РТ5, мм рт. ст.<=
7	Закрытие VР13-VP16	Давление по РТ3, мм рт. ст. <=
8	Закрытие клапана VP12 в алгоритме "Откачка"	Давление по PT1, мм рт. ст.<=
9	Завершение алгоритма «Откачка»	Давление по РМ1, мм рт. ст. <=
10	Открытие VT1-VT4	Давление по РТ1, мм рт. ст. <=
11	Открытие VP12, VT1-VT4	Давление по РТ3, мм рт. ст.<=
12	Завершение алгоритма «Выключение»	Давление по РT1, мм рт. ст. <=
13	Открытие VP10	Давление по РТ1, мм рт. ст. <=
14	Выполнение «Цикл»	Давление по РМ1, мм рт. ст. <=
15	Начало алгоритма Откачка	Давление по РT3, мм рт. ст. <=
16	Диапазон работы ионных источников	От давления РD1(PM1), мм рт. ст. =>
17	Диапазон работы ионных источников	До давления РD1(PM1), мм рт. ст. <=
18	Диапазон работы магнетронов и IR	От давления РD1(PM1), мм рт. ст. =>
19	Диапазон работы магнетронов и IR	До давления РD1(PM1), мм рт. ст. <=
20	Охлаждение NR1-NR4	Температура, °С <=
21	Охлаждение NL1, NL2	Температура, °С <=
22	Охлаждение БП Mg1, БП Mg2	Температура, °С <=
23	Охлаждение Mg1	Температура, °С <=
24	Охлаждение IR1	Температура, °С <=
25	Охлаждение Mg2	Температура, °С <=
26	Охлаждение IR2	Температура, °С <=
27	Охлаждение I1-1	Температура, °С <=
28	Охлаждение I1-2	Температура, °С <=
29	Охлаждение I2-1	Температура, °С <=
30	Охлаждение I2-2	Температура, °С <=
31	Охлаждение I3-1	Температура, °С <=
32	Охлаждение I3-2	Температура, °С <=
33	Охлаждение I4-1	Температура, °С <=
34	Охлаждение I4-2	Температура, °С <=
35	Охлаждение барабана	Температура, °С <=
36	Диапазон температуры барабана	От, °С
37	Диапазон температуры барабана	До, °С
38	Достижение давления по тепловым датчикам PT1 - PT4	Время, мин <=
39	Достижение давления по PM1	Время, мин <=
40	Открытие/закрытие клапанов и затворов	Время, сек <=
41	Открытие/закрытие заслонок	Время, сек <=
42	Ожидание устранения неисправности	Время, сек <=
43	Допустимая температура	Время, мин <=

Блокировка алгоритмов

1	Алгоритм «Подготовка»	открыт VT1-VT4
2	Алгоритм «Подготовка»	открыт VP11 - VP18
3	Алгоритм «Подготовка»	включен NR1-NR4
4	Алгоритм «Подготовка»	включен NL1, NL2
5	Алгоритм «Подготовка»	нет потока RT1
6	Алгоритм «Подготовка»	нет потока RT2
7	Алгоритм «Подготовка»	нет потока RT3
8	Алгоритм «Подготовка»	нет потока RT4
9	Алгоритм «Откачка»	не вышел на режим NR1
10	Алгоритм «Откачка»	не вышел на режим NR2
11	Алгоритм «Откачка»	не вышел на режим NR3
12	Алгоритм «Откачка»	не вышел на режим NR4
13	Алгоритм «Откачка»	открыт VT1-VT4
14	Алгоритм «Откачка»	открыт VP1-VP8, VP10, VP12, VP18, VP20
15	Алгоритм «Откачка»	SQ1- открыто
16	Алгоритм «Откачка»	управление на малом пульте
17	Алгоритм «Выключение»	открыт VT1 - VT4
18	Алгоритм «Выключение»	выключен NL1, закрыт VP11
19	Алгоритм «Выключение»	выключен NL2, закрыт VP17
20	Алгоритм «Цикл»	закрыты VT1, VP13
21	Алгоритм «Цикл»	закрыты VT2, VP14
22	Алгоритм «Цикл»	закрыты VT3, VP15
23	Алгоритм «Цикл»	закрыты VT4, VP16
24	Алгоритм «Цикл»	закрыт VP11
25	Алгоритм «Цикл»	закрыт VP17
26	Алгоритм «Цикл»	закрыт VP9
27	Алгоритм «Цикл»	открыты VP1-VP8
28	Алгоритм «Цикл»	открыт VP12
29	Алгоритм «Цикл»	открыта Z1
30	Алгоритм «Цикл»	открыта Z2
31	Алгоритм «Цикл»	нет параметров